अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग फोटोरिसिस्ट और पॉलीमाइड कोटिंग्स के लिए एक सरल, किफायती और प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्य प्रक्रिया है। अल्ट्रासोनिक कोटिंग सिस्टम सरल लेयरिंग तकनीकों का उपयोग प्रवाह दर, कोटिंग गति और बयान राशि को नियंत्रित करने के लिए कर सकता है।
अल्ट्रासोनिक छिड़काव तकनीक का उपयोग अर्धचालक फोटोरिसिस्ट कोटिंग्स के लिए किया जाता है। पारंपरिक कताई कोटिंग और संसेचन कोटिंग प्रक्रियाओं की तुलना में, इसमें उच्च एकरूपता, अच्छे माइक्रोस्ट्रक्चर एनकैप्सुलेशन और नियंत्रणीय कोटिंग क्षेत्र के फायदे हैं। पिछले एक दशक में, त्रि-आयामी माइक्रोस्ट्रक्चर फोटोरिसिस्ट कोटिंग्स के आवेदन को पूरी तरह से प्रदर्शित किया गया है। अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन स्प्रेइंग द्वारा फोटोरिसिस्ट कोटिंग्स तैयार करने की प्रक्रिया माइक्रोस्ट्रक्चर पैकेजिंग और एकरूपता के संदर्भ में पारंपरिक कताई कोटिंग्स से काफी बेहतर है।
अल्ट्रासोनिक छिड़काव प्रणाली प्रवाह दर, कोटिंग गति और मात्रा को निपटाने की मात्रा को सही ढंग से नियंत्रित कर सकती है। लो स्पीड स्प्रे मोल्डिंग बहुत पतली और समान परतों का उत्पादन करते समय अत्यधिक स्प्रे से बचने के लिए एक सटीक और नियंत्रणीय पैटर्न के रूप में स्प्रे को परिभाषित करता है। यह अल्ट्रासोनिक छिड़काव प्रणाली उप माइक्रोन से 100 से अधिक माइक्रोन तक मोटाई को नियंत्रित कर सकती है और किसी भी आकार या आकार को कवर कर सकती है।
फोटोरिसिस्ट के लिए अल्ट्रासोनिक कोटिंग तकनीक के लक्षण:
◆ विभिन्न सतह आकृति की समान फिल्म कवरेज
◆ गैर संपर्क छिड़काव
◆ माइक्रो एयरफ्लो स्प्रेइंग, मल्टीपल लिक्विड फीडिंग स्कीम्स
◆ उच्च गति नियंत्रण सटीकता
◆ उच्च तरल उपयोग दर
◆ रासायनिक और कोटिंग प्रदर्शन में उच्च लचीलापन
◆ उच्च संचरण दक्षता और न्यूनतम अपशिष्ट
◆ दोहराने योग्य परिपक्व छिड़काव प्रक्रिया