अर्धचालक लिथोग्राफी के लिए फोटोरिसिस्ट कोटिंग प्रणाली

पारंपरिक स्पिन कोटिंग की तुलना में, अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग का उपयोग करते हुए फोटोरिसिस्ट कोटिंग्स में अधिक समान कोटिंग्स जमा करने में फायदे हैं, विशेष रूप से उच्च पहलू अनुपात ग्रूव्स और वी-आकार के नाली संरचनाओं के फुटपाथ के शीर्ष के साथ। सेंट्रीफ्यूगल रोटेशन फुटपाथों के साथ समान कोटिंग्स जमा नहीं कर सकता है, और गुहा के तल पर बहुत अधिक फोटोरिसिस्ट जमा नहीं करेगा।

अल्ट्रासोनिक छिड़काव फोटोलिथोग्राफी वेफर प्रसंस्करण में फोटोरिसिस्ट कोटिंग के लिए एक सरल, किफायती और प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्य प्रक्रिया है। फ़नसोनिक की अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन कोटिंग सिस्टम उन्नत लेयरिंग तकनीक का उपयोग करता है जो कि प्रवाह दर, कोटिंग गति और बयान राशि को नियंत्रित करने के लिए है। कम स्पीड स्प्रे मोल्डिंग ओवरस्प्रे से बचने और बहुत पतली और समान परतों का उत्पादन करने के लिए एक सटीक और नियंत्रणीय पैटर्न के रूप में परमाणु स्प्रे को परिभाषित करता है। अल्ट्रासोनिक तकनीक का उपयोग करके प्रत्यक्ष छिड़काव 3 डी माइक्रोस्ट्रक्चर पर फोटोरिसिस्ट को जमा करने के लिए एक विश्वसनीय और प्रभावी तरीका साबित हुआ है, जिससे उपकरण विफलताओं को कम करने के कारण धातुओं के अत्यधिक जोखिम के कारण नक़्क़ाशी होती है।

फोटोरिसिस्ट कोटिंग प्रक्रिया में अल्ट्रासोनिक नोजल के लाभ:

1। विभिन्न सतह आकृति की वर्दी फिल्म कवरेज।
2। उत्कृष्ट एकरूपता के साथ उच्च पहलू अनुपात खांचे को कोट करने में सक्षम।
3। नॉन क्लॉगिंग परमाणु स्प्रे।
4। अत्यधिक समान एकल माइक्रोन पतली परतों को जमा करने में सक्षम।
5। दोहराने योग्य परिपक्व छिड़काव प्रक्रिया।